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半導體

晶圓檢測機

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設備參數：

· 產能：≥ 8ppm ；

· 準確率：≥ 95% ；

· 稼動率：≥ 95% （僅由設備自身原因造成）；

· 漏檢率：0 ；

· 誤檢率：≤ 5% ；


安裝環境要求：

· 電源要求：380VAC，50Hz ≤40KW ；

· 壓縮氣源：0.4~0.7MPa  ≤1000L/H；

· 環境溫度：室溫+10°~+45°；

· 相對濕度：≯50%，無結露、無腐蝕性、可燃性氣體。




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